3.特種氣體
隨著國家政策的推動、高新技術的發展，以及下游需求的不斷增長，特種氣體市場規模持續快速增長。數據顯示，中國特種氣體市場規模由2017年的175億元增長至2021年的342億元，復合年均增長率達18.24%。中商產業研究院預測，2022年我國特種氣體市場規模將達409億元。
數據來源：中商產業研究院整理
中國特種氣體市場中，國外公司仍為主流，市場幾乎被發達國家的龍頭企業壟斷，主要龍頭有美國空氣華工、美國普萊克斯、法國液化空氣、日本太陽日酸及德國林德。國產企業產品較為單一，提純技術不夠成熟，在市場競爭度較低。2021年CR5占比約7.7%，前五名包括華特氣體、南大光電、金宏氣體、雅克科技、和遠氣體，2021年市場份額占比分別為2.3%、2.1%、1.9%、1.1%和0.2%。第一梯隊的國產企業特氣業務收入已具備規模性，在細分領域產品優勢明顯，但和國外龍頭企業相比還有差距。
數據來源：中商產業研究院整理
4.光刻機
全球半導體設備行業復蘇，受益于下游晶圓巨大需求、服務器云計算和5G基礎建設的發展，帶動相關芯片的需求，2020年光刻機銷售額與銷量增速穩定提升。2021年全球集成電路、面板、LED用光刻機出貨約650臺，較2020年增加70臺。其中集成電路制造用光刻機出貨約500臺；面板、LED用光刻機出貨約150臺。2021年全球光刻機銷量為450臺，隨著下游市場需求持續升高，預計2022全球市場仍將持續增長，銷量將達510臺。
數據來源：中商產業研究院整理
上海微電子深耕光刻機產品研發，承擔多項專項科研任務。目前公司光刻機產品主要包括IC前道光刻機、IC后道封裝光刻機、面板前道光刻機、面板后道封裝光刻機。作為國內光刻機設備領域的領航者，上海微電子承擔著國產光刻機設備的希望，若能實現光刻機設備的國產化，中國大力發展的半導體產業必將邁上一個新臺階。
資料來源：中商產業研究院整理
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