4、光刻機
（1）市場銷量
全球半導體設備行業復蘇,受益于下游晶圓巨大需求、服務器云計算和5G基礎建設的發展,帶動相關芯片的需求,2020年光刻機銷售額與銷量增速穩定提升。2021年全球集成電路、面板、LED用光刻機出貨約650臺，較2020年增加70臺。其中集成電路制造用光刻機出貨約500臺；面板、LED用光刻機出貨約150臺。2021年全球光刻機銷量為450臺，隨著下游市場需求持續升高，預計2023全球市場仍將持續增長，銷量將達542臺。
數據來源：中商產業研究院整理
（2）重點企業
光刻機市場競爭格局明確，主要由阿斯麥、日本尼康和佳能三家把持，其中阿斯麥更是全球絕對龍頭，市占率83.3%，幾乎壟斷了高端光刻機（EUV）市場。中國光刻機企業主要有上海微電子裝備有限公司、北京華卓精科科技股份有限公司、北京科益虹源光電技術有限公司、長春國科精密光學技術有限公司、北京國望光學科技有限公司、浙江啟爾機電技術有限公司、東方晶源微電子科技公司。
資料來源：中商產業研究院整理
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