PART1電子特氣行業概況
電子特氣指的是工業氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統工業氣體在純度和用途上有所區分。特種氣體的生產過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術,流程較為復雜。
電子特氣種類眾多,廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節,被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。
PART2電子特氣行業發展環境
電子特氣在生產過程中涉及合成、純化、混合配置、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術,尤其是半導體客戶對氣體純度、混合氣體配比精度以及氣瓶處理技術等具有高要求。通過不斷的經驗積累和技術進步,業內領先企業已在部分產品上實現突破,達到國際標準。