（3）核心環節
半導體零部件按照類型分，可以分為6類：分別為機械類、電氣類、機電一體類、氣體/液體/真空系統類、儀器儀表類、光學類。
資料來源：中商產業研究院整理
（4）重點企業
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2.核心子系統
半導體設備的關鍵子系統主要分為8大類，可分為：氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應系統、熱管理系統、晶圓傳送系統、集成系統，每個子系統亦由數量龐大的零部件組合而成。
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