3.電子特種氣體
電子特種氣體是半導體制造的關鍵原材料，主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節。近年來，中國電子特種氣體市場規模持續增長。中商產業研究院發布的《2023-2028年中國電子特氣專題研究及發展前景預測評估報告》顯示，2022年電子特種氣體市場規模220.8億元。我國電子特氣市場規模的增長率明顯高于全球電子特氣增長率，未來有較大發展空間。預計2023年中國電子特氣市場規模逼近250億元，2024年市場規模將達262.5億元。
數據來源：SEMI、中商產業研究院整理
4.光刻機
（1）光刻機市場規模
近年來，在消費電子需求相對低迷的情況下，電動汽車、風光儲、人工智能等新需求成為半導體產業成長的新動能，全球光刻機市場規模平穩增長。根據SEMI公布的數據，2022年全球半導體設備市場規模為1076.5億美元，其中光刻機市場占比約為24%，規模達到約258.4億美元。中商產業研究院分析師預測，2023年全球光刻機市場規模將增至271.3億美元，2024年增至295.7億美元。
數據來源：SEMI、中商產業研究院整理
（2）光刻機市場競爭格局
光刻機市場呈現寡頭壟斷格局，前三供應商（荷蘭阿斯麥、日本佳能、日本尼康）占據絕大多數市場份額，其中，ASML市場份額占比82.1%，Canon市場份額占比10.2%，Nikon市場份額占比7.7%。國內企業中，上海微電子是目前中國第一家也是唯一一家光刻機巨頭，具備90nm及以下的芯片制造能力。根據公開數據，上海微電子光刻機出貨量此前已占到國內市場份額超過80%。
數據來源：中商產業研究院整理
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