2.光刻机
（1）出货量
中商产业研究院发布的《2025-2030年中国光刻机市场调查与行业前景预测专题研究报告》显示，2024年，ASML、Nikon、Canon的集成电路用光刻机出货达683台，较2023年的681台增加2台，基本持平；销售金额约在264亿美元，2023年销售金额约269亿美元，销售额基本持平。
数据来源：中商产业研究院整理
（2）重点企业分析
随着国家对半导体产业的重视和投入加大，国内光刻机企业开始加速自主研发和创新。上海微电子是国内唯一一家生产高端前道光刻机整机的公司，已经实现了90nm光刻机的量产，并在不断努力突破先进制程，加速国产化进程。此外，国内还有多家企业在光刻机产业链的相关零部件领域取得了突破，如光源系统、照明系统和投影物镜等环节。
资料来源：中商产业研究院整理
3.刻蚀机
（1）市场规模
刻蚀机主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械等。近年来，全球刻蚀机市场规模呈增长趋势。中商产业研究院发布的《2025-2030全球及中国半导体设备行业深度研究报告》显示，2023年全球刻蚀机市场规模约为148.2亿美元，同比增长5.93%，2024年市场规模约为156.5亿美元。中商产业研究院分析师预测，2025年全球刻蚀机市场规模将达164.8亿美元。
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
（2）重点企业分析
刻蚀机行业的竞争格局呈现出高度集中且竞争激烈的态势。全球范围内，以LAMResearch、AMAT和TEL为代表的国际巨头占据了市场的主导地位，它们凭借先进的技术、丰富的产品线和广泛的客户群体，在全球刻蚀机市场中占据了大部分份额。中微公司和北方华创等本土企业凭借自主研发和创新能力，逐渐在刻蚀机领域崭露头角，成为国内刻蚀机行业的领军企业。具体如图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
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