二、光刻機企業分析
1.國內重點企業
上海微電子深耕光刻機產品研發，承擔多項專項科研任務。目前公司光刻機產品主要包括IC前道光刻機、IC后道封裝光刻機、面板前道光刻機、面板后道封裝光刻機。作為國內光刻機設備領域的領航者，上海微電子承擔著國產光刻機設備的希望，若能實現光刻機設備的國產化，中國大力發展的半導體產業必將邁上一個新臺階。
資料來源：中商產業研究院整理
2.光刻機零部件相關廠商
光刻機由光源、照明系統、物鏡、工件臺等部件組裝而成，相關環節企業進度如下：
資料來源：中商產業研究院整理
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