3.碳化硅外延片
碳化硅外延片，是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜（外延層）的碳化硅片。中國碳化硅外延片產業自2022年進入快速成長期，中商產業研究院發布的《2024-2030年中國碳化硅外延片行業市場發展現狀及潛力分析研究報告》顯示，2023年中國碳化硅外延片整體市場規模已達到約16.24億元。中商產業研究院分析師預測，至2026年中國碳化硅外延片市場規模有望上升至107億元。
數據來源：TrendForce、中商產業研究院整理
4.碳化硅外延設備
碳化硅外延設備是一種用于在碳化硅襯底上生長外延層的設備，碳化硅外延設備在制造高質量碳化硅外延片和晶片方面具有廣泛的應用。在下游需求刺激下，近兩年中國碳化硅外延片生產商擲出了數倍的擴產計劃，我國碳化硅外延設備市場規模持續增長。中商產業研究院發布的《2024-2030年中國碳化硅外延片行業市場發展現狀及潛力分析研究報告》顯示，2023年中國碳化硅外延設備市場規模約13.07億元。中商產業研究院分析師預測，到2024年市場規模將增至20.87億元，2026年增至26.86億元。
數據來源：TrendForce、中商產業研究院整理
按累計訂單量來看，截至2023年底，中國碳化硅外延設備市場主要由五家廠商占據，依序為北方華創(NAURA)、晶盛機電(JSG)、LPE(An ASM company)、納設智能(Naso Tech)以及中國電科第四十八研究所（CETC-48），合計占據超85%市場份額，其中北方華創、晶盛機電、納設智能處于本土領先地位。
數據來源：TrendForce、中商產業研究院整理
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